氣體質量流量控制器 型號:KM12-CS50
產品特點
安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。
流量規格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規格1:（N2)產品特點
本產品具有穩定、響應時間短、標定精度和重復精度高等優點,安裝方便,無安裝位置和直管段要求,操作簡單,可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使 用,也可通過模擬數字信號轉換器( AD/DA轉換器)配合計算機使用。
氣體質量流量控制器 型號:KM12-CS50
流量規格(N2標定)
0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM
注:滿量程流量不限于此處列出的流量規格,可以在5SCCM ~ 30SLM范圍內任選,例如123SCCM。
輸入輸出信號
0~ +5.00V (輸入阻抗大于100kQ ,輸出電流不大于3mA)
流量規格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM
調節閥類型：常閉型
量程比：2-99.999%FS或者50:1
流量分辨率：0.1%FS
準確度：1%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
線性：0.5%FS 小于15SLM
2%FS 大于15SLM
重復精度：0.2%FS
相應時間：小于2S
工作壓差范圍：0.1-0.5MPA 小于10SLM
0.1-0.3MPA 大于10SLM
大耐壓：3MPA
工作環境：5-45度
電纜接頭：DB15pin(針形）
輸入輸出信號：0-5V（輸入抗阻大于100K歐 輸出電流不大于3MA）
供電電源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
