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濺射蒸碳儀 型號:S9AT/SD-900C
技術規格 參數
主機 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
副機 300mm×360mm×140mm（W×D×H）
真空規 皮拉尼真空計
濺射靶 二極直流濺射靶 （標配）磁控靶（選配）
靶材尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H）
靶材 Au(純度99.99%）
蒸發材料 碳纖維繩
樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃
濺射面積 Φ50mm
蒸碳面積 140mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
濺射蒸碳儀 型號:S9AT/SD-900C
濺射大電流 50mA （磁控靶100mA）
熱蒸發大電流 100A
濺射定時器時間 0-360s
熱蒸發時間 0-1s
微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管
可通入氣體 多種
濺射高電壓 -1600DCV
熱蒸發高電壓 28V
電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭
機械泵 2L/S
重量 40Kg
